石墨舟自动装卸片设备上料用片盒架

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120201344.0

申请日：

2011-06-15

公开(公告)号：

CN202131368U

公开(公告)日：

2012-02-01

发明(设计)人：

王慧勇魏唯吕文利刘红江

申请人：

申请人地址：

410111 湖南省长沙市高新开发区麓谷大道662号

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113

代理人：

马强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-02-01	授权	授权
2021-07-02	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 16/44 申请日:20110615 授权公告日:20120201

共 50 条

[1]

一种石墨舟自动装卸片升降传递装置 [P].

王慧勇 ;

魏唯 ;

吕文利 .

中国专利 :CN102653859A ,2012-09-05

[2]

一种石墨舟自动装卸片设备 [P].

王俊朝 ;

李军阳 ;

李学文 ;

刘兵吉 .

中国专利 :CN107365980A ,2017-11-21

[3]

一种用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片系统 [P].

王慧勇 ;

魏唯 ;

吕文利 ;

郭忠君 .

中国专利 :CN103681420A ,2014-03-26

[4]

用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置 [P].

王俊朝 ;

李军阳 ;

刘兵吉 ;

杜武明 .

中国专利 :CN203998096U ,2014-12-10

[5]

用于双面镀膜的石墨舟片及石墨舟 [P].

黄纪德 ;

蒋方丹 ;

金井升 ;

金浩 ;

陈康平 .

中国专利 :CN204130510U ,2015-01-28

[6]

一种不等间距舟片的石墨舟 [P].

黄纪德 ;

蒋方丹 ;

金浩 ;

陈康平 .

中国专利 :CN204348695U ,2015-05-20

[7]

用于双面镀膜的石墨舟片及石墨舟 [P].

黄纪德 ;

蒋方丹 ;

金井升 ;

金浩 ;

陈康平 .

中国专利 :CN104282604A ,2015-01-14

[8]

石墨舟片及石墨舟 [P].

李苗苗 ;

何军 .

中国专利 :CN206477027U ,2017-09-08

[9]

石墨舟装卸片机 [P].

余仲 ;

周宏业 ;

胡艳东 ;

左晶 ;

罗宁 .

中国专利 :CN220456437U ,2024-02-06

[10]

管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片上料机构 [P].

李长英 ;

陈光 ;

高玉良 .

中国专利 :CN204243016U ,2015-04-01

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