一种石墨舟自动装卸片设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710555647.4

申请日：

2017-07-10

公开(公告)号：

CN107365980A

公开(公告)日：

2017-11-21

发明(设计)人：

王俊朝李军阳李学文刘兵吉

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区高新区北区北环大道9018号大族创新大厦A区2楼

IPC主分类号：

C23C16513

IPC分类号：

C23C16458

代理机构：

深圳市深科信知识产权代理事务所(普通合伙) 44422

代理人：

彭光荣

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-21	公开	公开
2021-04-30	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/513 登记生效日:20210420 变更事项:专利权人变更前权利人:深圳丰盛装备股份有限公司变更后权利人:深圳市大族光伏装备有限公司变更事项:地址变更前权利人:518000 广东省深圳市南山区高新区北区北环大道9018号大族创新大厦A区2楼变更后权利人:518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路大族激光工业园厂房4栋101
2017-12-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/513 申请日:20170710
2019-01-11	授权	授权

共 50 条

[1]

用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片装置 [P].

王俊朝 ;

李军阳 ;

刘兵吉 ;

杜武明 .

中国专利 :CN203998096U ,2014-12-10

[2]

石墨舟自动装卸片设备上料用片盒架 [P].

王慧勇 ;

魏唯 ;

吕文利 ;

刘红江 .

中国专利 :CN202131368U ,2012-02-01

[3]

一种石墨舟自动装卸片升降传递装置 [P].

王慧勇 ;

魏唯 ;

吕文利 .

中国专利 :CN102653859A ,2012-09-05

[4]

一种石墨舟自动装卸设备 [P].

黄金 .

中国专利 :CN206076269U ,2017-04-05

[5]

用于PECVD自动装卸片系统的石墨舟小车 [P].

宁宗娥 ;

吕文利 ;

魏唯 ;

王慧勇 .

中国专利 :CN102328827A ,2012-01-25

[6]

一种用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片系统 [P].

王慧勇 ;

魏唯 ;

吕文利 ;

郭忠君 .

中国专利 :CN103681420A ,2014-03-26

[7]

一种石墨舟舟片、石墨舟及硅片镀膜设备 [P].

高凤海 ;

费正洪 ;

李栋 .

中国专利 :CN209418475U ,2019-09-20

[8]

一种石墨舟片辅助片 [P].

郑方渊 ;

王田飞 .

中国专利 :CN220665445U ,2024-03-26

[9]

一种PECVD石墨舟的自动装卸片装置 [P].

区碧莲 .

中国专利 :CN112216637A ,2021-01-12

[10]

一种自动石墨舟 [P].

冯晓倩 ;

郑方渊 ;

张华 .

中国专利 :CN204257607U ,2015-04-08

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