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碳化硅装置及其制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201780019386.2
申请日：
2017-02-23
公开(公告)号：
CN108780816A
公开(公告)日：
2018-11-09
发明(设计)人：
P.A.罗西
L.D.斯特瓦诺维奇
G.T.邓恩
A.V.博罗特尼科夫
申请人：
申请人地址：
美国纽约州
IPC主分类号：
H01L2978
IPC分类号：
H01L21336
H01L2912
H01L2908
H01L29808
H01L29745
H01L29739
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
徐予红;杨美灵
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-11-09 | 公开 | 公开 |
| 2018-12-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/78 申请日:20170223 |
| 2022-03-18 | 授权 | 授权 |