一种晶体硅表面制绒的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810161287.4

申请日：

2018-02-27

公开(公告)号：

CN108385168A

公开(公告)日：

2018-08-10

发明(设计)人：

杨洁郑霈霆张昕宇金浩

申请人：

申请人地址：

314416 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号

IPC主分类号：

C30B3312

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

王宝筠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 33/12 申请日:20180227
2021-01-22	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B 33/12 申请公布日:20180810
2018-08-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶体硅太阳能电池的表面制绒方法 [P].

万青 ;

竺立强 ;

佘鹏 ;

龚骏 .

中国专利 :CN102299205A ,2011-12-28

[2]

一种用于晶体硅的制绒槽 [P].

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN206541840U ,2017-10-03

[3]

一种用于晶体硅的制绒槽 [P].

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN206271727U ,2017-06-20

[4]

一种晶体硅RIE制绒的表面损伤层清洗工艺 [P].

盛健 .

中国专利 :CN102097526B ,2011-06-15

[5]

一种晶体硅RIE制绒表面损伤层的清洗工艺 [P].

赖涛 ;

刘杰 ;

王慧 ;

姜丽丽 ;

路忠林 ;

盛雯婷 ;

张凤鸣 .

中国专利 :CN102728573B ,2012-10-17

[6]

硅晶片表面的制绒方法 [P].

沈汉明 .

中国专利 :CN102002682A ,2011-04-06

[7]

一种去除RIE制绒后晶体硅表面的微损伤层的方法 [P].

蔡文浩 .

中国专利 :CN102364697A ,2012-02-29

[8]

晶体硅太阳电池制绒方法 [P].

李志伟 .

中国专利 :CN102569511A ,2012-07-11

[9]

正面钝化的RIE制绒晶体硅电池 [P].

蔡文浩 .

中国专利 :CN202004005U ,2011-10-05

[10]

晶体硅制绒添加剂、晶体硅制绒剂以及晶体硅倒金字塔绒面结构的制备方法 [P].

孙纵横 ;

张小虎 ;

陈伟 ;

刘尧平 ;

王燕 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN114921251A ,2022-08-19

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