一种晶体硅RIE制绒的表面损伤层清洗工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010298887.9

申请日：

2010-10-08

公开(公告)号：

CN102097526B

公开(公告)日：

2011-06-15

发明(设计)人：

盛健

申请人：

申请人地址：

213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

代理机构：

常州市维益专利事务所 32211

代理人：

王凌霄

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-08-29	授权	授权
2018-02-09	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更事项:专利权人变更前:天合光能有限公司变更后:天合光能股份有限公司变更事项:地址变更前:213031 江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号变更后:213031 江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号
2018-02-09	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更事项:专利权人变更前:常州天合光能有限公司变更后:天合光能有限公司变更事项:地址变更前:213031 江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号变更后:213031 江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号
2011-08-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101096109924 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:2010102988879 申请日:20101008
2017-06-09	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101753080811 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:2010102988879 变更事项:发明人变更前:盛健变更后:盛健;高纪凡
2011-06-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶体硅RIE制绒表面损伤层的清洗工艺 [P].

赖涛 ;

刘杰 ;

王慧 ;

姜丽丽 ;

路忠林 ;

盛雯婷 ;

张凤鸣 .

中国专利 :CN102728573B ,2012-10-17

[2]

一种晶体硅RIE制绒前的表面预处理工艺 [P].

邹帅 ;

党继东 ;

王栩生 .

中国专利 :CN104404627A ,2015-03-11

[3]

一种去除RIE制绒后晶体硅表面的微损伤层的方法 [P].

蔡文浩 .

中国专利 :CN102364697A ,2012-02-29

[4]

一种适用于RIE制绒后晶体硅片的表面微腐蚀清洗方法 [P].

解观超 ;

刘金浩 ;

上官泉元 .

中国专利 :CN105449045A ,2016-03-30

[5]

正面钝化的RIE制绒晶体硅电池 [P].

蔡文浩 .

中国专利 :CN202004005U ,2011-10-05

[6]

一种RIE制绒硅片表面修饰清洗方法 [P].

黄钧林 ;

范维涛 ;

周肃 ;

黄青松 ;

黄惜惜 ;

张鑫 ;

勾宪芳 .

中国专利 :CN105655445A ,2016-06-08

[7]

一种晶体硅表面制绒的方法 [P].

杨洁 ;

郑霈霆 ;

张昕宇 ;

金浩 .

中国专利 :CN108385168A ,2018-08-10

[8]

一种晶体硅太阳能电池的表面制绒方法 [P].

万青 ;

竺立强 ;

佘鹏 ;

龚骏 .

中国专利 :CN102299205A ,2011-12-28

[9]

一种干法制绒黑硅后清洗工艺 [P].

王亚勉 ;

韩培勇 ;

丁建宁 ;

黄丽君 ;

刘金浩 ;

袁宁一 ;

上官泉元 .

中国专利 :CN108682615A ,2018-10-19

[10]

一种用于RIE制绒后的链式清洗设备 [P].

邹帅 ;

王栩生 .

中国专利 :CN204189775U ,2015-03-04

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