一种RIE制绒硅片表面修饰清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610180460.6

申请日：

2016-03-25

公开(公告)号：

CN105655445A

公开(公告)日：

2016-06-08

发明(设计)人：

黄钧林范维涛周肃黄青松黄惜惜张鑫勾宪芳

申请人：

申请人地址：

212132 江苏省镇江市新区北山路9号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L310236 H01L2102

代理机构：

北京天平专利商标代理有限公司 11239

代理人：

缪友菊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-08	公开	公开
2016-07-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101669297632 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:2016101804606 申请日:20160325
2017-04-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片表面制绒液及硅片表面制绒的方法 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN101717946A ,2010-06-02

[2]

一种硅片RIE制绒后的处理方法 [P].

刘文国 ;

谢毅 ;

苏世杰 ;

李强强 ;

张玉前 .

中国专利 :CN107818913A ,2018-03-20

[3]

一种晶体硅RIE制绒表面损伤层的清洗工艺 [P].

赖涛 ;

刘杰 ;

王慧 ;

姜丽丽 ;

路忠林 ;

盛雯婷 ;

张凤鸣 .

中国专利 :CN102728573B ,2012-10-17

[4]

一种晶体硅RIE制绒的表面损伤层清洗工艺 [P].

盛健 .

中国专利 :CN102097526B ,2011-06-15

[5]

一种多晶硅片制绒方法及制绒液 [P].

吴甲奇 ;

王永谦 ;

吴文娟 ;

缪若文 ;

陈仁军 ;

严婷婷 ;

凌俊 ;

艾凡凡 .

中国专利 :CN103806107A ,2014-05-21

[6]

一种硅片RIE制绒后的处理方法 [P].

单伟 ;

韩玮智 ;

牛新伟 ;

蒋前哨 ;

金建波 ;

陆川 ;

仇展炜 .

中国专利 :CN103280396A ,2013-09-04

[7]

一种晶体硅片的制绒方法 [P].

王红芳 ;

徐卓 ;

李锋 ;

潘明翠 ;

郎芳 ;

翟金叶 ;

孟庆超 ;

夏新中 ;

陈志军 ;

史金超 ;

于波 .

中国专利 :CN115602755A ,2023-01-13

[8]

一种适用于RIE制绒后晶体硅片的表面微腐蚀清洗方法 [P].

解观超 ;

刘金浩 ;

上官泉元 .

中国专利 :CN105449045A ,2016-03-30

[9]

一种硅片制绒的清洗方法 [P].

王涛 ;

郭永刚 ;

董鹏 .

中国专利 :CN103426972A ,2013-12-04

[10]

一种降低硅片表面金属的清洗方法 [P].

焦芬芬 .

中国专利 :CN115440575A ,2022-12-06

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