一种硅片RIE制绒后的处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711067441.3

申请日：

2017-11-03

公开(公告)号：

CN107818913A

公开(公告)日：

2018-03-20

发明(设计)人：

刘文国谢毅苏世杰李强强张玉前

申请人：

申请人地址：

230088 安徽省合肥市高新区长宁大道与习友路交口西南角

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2167 H01L3118

代理机构：

昆明合众智信知识产权事务所 53113

代理人：

张玺

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-20	公开	公开
2020-05-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/02 申请公布日:20180320
2018-04-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20171103

共 50 条

[1]

一种硅片RIE制绒后的处理方法 [P].

单伟 ;

韩玮智 ;

牛新伟 ;

蒋前哨 ;

金建波 ;

陆川 ;

仇展炜 .

中国专利 :CN103280396A ,2013-09-04

[2]

一种RIE制绒硅片表面修饰清洗方法 [P].

黄钧林 ;

范维涛 ;

周肃 ;

黄青松 ;

黄惜惜 ;

张鑫 ;

勾宪芳 .

中国专利 :CN105655445A ,2016-06-08

[3]

一种硅片表面制绒液及硅片表面制绒的方法 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN101717946A ,2010-06-02

[4]

一种晶体硅片的制绒方法 [P].

王红芳 ;

徐卓 ;

李锋 ;

潘明翠 ;

郎芳 ;

翟金叶 ;

孟庆超 ;

夏新中 ;

陈志军 ;

史金超 ;

于波 .

中国专利 :CN115602755A ,2023-01-13

[5]

硅片的制绒处理方法 [P].

白志民 .

中国专利 :CN102820370B ,2012-12-12

[6]

一种用于RIE制绒后的链式清洗设备 [P].

邹帅 ;

王栩生 .

中国专利 :CN204189775U ,2015-03-04

[7]

一种铜催化刻蚀制绒硅片表面圆滑处理的方法 [P].

李绍元 ;

盛贵章 ;

马文会 ;

朱祺桉 ;

陈正杰 ;

万小涵 ;

于洁 ;

魏奎先 ;

雷云 ;

颜恒维 ;

杨斌 ;

戴永年 .

中国专利 :CN109087853B ,2018-12-25

[8]

一种硅片制绒后处理方法 [P].

孙林 ;

杜俊霖 ;

孟凡英 ;

刘正新 ;

陈功兵 ;

何堂贵 .

中国专利 :CN111554774A ,2020-08-18

[9]

准单晶硅片的制绒方法 [P].

魏青竹 ;

钱峰 ;

陆俊宇 ;

任军林 ;

汪艳玲 .

中国专利 :CN102468371A ,2012-05-23

[10]

一种硅片高效制绒方法 [P].

李晓东 ;

姚译敏 .

中国专利 :CN109244185A ,2019-01-18

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