一种硅片RIE制绒后的处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310188957.9

申请日：

2013-05-17

公开(公告)号：

CN103280396A

公开(公告)日：

2013-09-04

发明(设计)人：

单伟韩玮智牛新伟蒋前哨金建波陆川仇展炜

申请人：

申请人地址：

310053 浙江省杭州市滨江区滨安路1335号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

代理机构：

北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370

代理人：

冯谱

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-10-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101527529011 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2013101889579 申请日:20130517
2013-09-04	公开	公开
2022-06-24	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/02 登记生效日:20220610 变更事项:专利权人变更前权利人:浙江正泰太阳能科技有限公司变更后权利人:正泰新能科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:310053 浙江省杭州市滨江区滨安路1335号变更后权利人:314417 浙江省嘉兴市海宁市尖山新区吉盛路1号
2016-08-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片RIE制绒后的处理方法 [P].

刘文国 ;

谢毅 ;

苏世杰 ;

李强强 ;

张玉前 .

中国专利 :CN107818913A ,2018-03-20

[2]

硅片的制绒处理方法 [P].

白志民 .

中国专利 :CN102820370B ,2012-12-12

[3]

一种RIE制绒硅片表面修饰清洗方法 [P].

黄钧林 ;

范维涛 ;

周肃 ;

黄青松 ;

黄惜惜 ;

张鑫 ;

勾宪芳 .

中国专利 :CN105655445A ,2016-06-08

[4]

一种硅片制绒后处理方法 [P].

孙林 ;

杜俊霖 ;

孟凡英 ;

刘正新 ;

陈功兵 ;

何堂贵 .

中国专利 :CN111554774A ,2020-08-18

[5]

硅片制绒方法与硅片制绒装置 [P].

叶晓亚 ;

曹芳 ;

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN112909121B ,2021-06-04

[6]

一种适用于RIE制绒后晶体硅片的表面微腐蚀清洗方法 [P].

解观超 ;

刘金浩 ;

上官泉元 .

中国专利 :CN105449045A ,2016-03-30

[7]

一种硅片的制绒方法 [P].

金井升 .

中国专利 :CN105047764A ,2015-11-11

[8]

一种硅片的制绒方法 [P].

刘长明 ;

金井升 ;

蒋方丹 ;

金浩 .

中国专利 :CN105047767A ,2015-11-11

[9]

一种硅片表面制绒液及硅片表面制绒的方法 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN101717946A ,2010-06-02

[10]

一种硅片制绒方法 [P].

熊诗龙 ;

金井升 ;

刘长明 ;

张昕宇 ;

金浩 .

中国专利 :CN108305915A ,2018-07-20

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