气体流量控制器的校准方法、校准系统及进气装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910828034.2

申请日：

2019-09-03

公开(公告)号：

CN110571171B

公开(公告)日：

2019-12-13

发明(设计)人：

韩笑娜姜宏伟陈庆

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

G05D706

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190903
2019-12-13	公开	公开
2022-05-27	授权	授权

共 50 条

[1]

一种质量流量控制器校准系统及校准装置 [P].

张俊 ;

朱平安 ;

苏宏凯 .

中国专利 :CN223427044U ,2025-10-10

[2]

一种质量流量控制器的校准系统及方法 [P].

刘涛 ;

文强 ;

黄彪 .

中国专利 :CN106054855B ,2016-10-26

[3]

控制器及校准系统 [P].

近藤哲弘 ;

梅川淳 ;

小寺裕康 ;

片岡洋佑 .

日本专利 :CN118434973A ,2024-08-02

[4]

测量气体流量的方法和校准流量控制器的方法 [P].

包祺 .

中国专利 :CN117810130A ,2024-04-02

[5]

质量流量控制器和流量控制方法 [P].

米田丰 ;

田中祐纪 .

中国专利 :CN102467132A ,2012-05-23

[6]

流量控制方法和质量流量控制器 [P].

邹义涛 ;

张海洋 ;

赵迪 .

中国专利 :CN119105560A ,2024-12-10

[7]

基于时序控制器的电压校准方法及校准系统 [P].

肖光星 .

中国专利 :CN108198536A ,2018-06-22

[8]

校准系统、校准方法及校准装置 [P].

杨元坤 ;

张汉杰 ;

钟春明 ;

黎海军 .

中国专利 :CN112247741B ,2021-01-22

[9]

电机校准系统、方法、装置、控制器及存储介质 [P].

李泽伟 .

中国专利 :CN110631474B ,2019-12-31

[10]

电机校准系统、方法、装置、控制器及存储介质 [P].

李泽伟 .

中国专利 :CN110645891B ,2020-01-03

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