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测量气体流量的方法和校准流量控制器的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311862625.4
申请日：
2023-12-29
公开(公告)号：
CN117810130A
公开(公告)日：
2024-04-02
发明(设计)人：
包祺
申请人：
江苏天芯微半导体设备有限公司
申请人地址：
214111 江苏省无锡市新吴区新梅路58号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
G01F25/10
代理机构：
上海元好知识产权代理有限公司 31323
代理人：
朱成之
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省
无锡市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-02 | 公开 | 公开 |
| 2024-04-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20231229 |