一种基板后处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920462276.X

申请日：

2019-04-08

公开(公告)号：

CN210092034U

公开(公告)日：

2020-02-18

发明(设计)人：

王同庆王剑许振杰路新春

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区中关村北大街清华大学

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

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法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-18	授权	授权
2020-05-19	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更事项:专利权人变更前:清华大学变更后:清华大学变更事项:地址变更前:100084 北京市海淀区海淀区中关村北大街清华大学变更后:100084 北京市海淀区中关村北大街清华大学变更事项:共同专利权人变更前:天津华海清科机电科技有限公司变更后:华海清科股份有限公司

共 50 条

[1]

一种基板后处理装置和方法 [P].

王同庆 ;

王剑 ;

许振杰 ;

路新春 .

中国专利 :CN110993524A ,2020-04-10

[2]

一种基板后处理装置和方法 [P].

王同庆 ;

王剑 ;

许振杰 ;

路新春 .

中国专利 :CN110993524B ,2025-11-21

[3]

一种基板处理液的存储装置和基板后处理设备 [P].

赵德文 ;

李长坤 ;

路新春 .

中国专利 :CN210535627U ,2020-05-15

[4]

一种基板处理液的存储装置和基板后处理设备 [P].

赵德文 ;

李长坤 ;

路新春 .

中国专利 :CN110197801A ,2019-09-03

[5]

一种基板后处理装置 [P].

韩晓铠 ;

刘远航 ;

马旭 .

中国专利 :CN218039121U ,2022-12-13

[6]

一种后处理装置进气端盖及后处理装置 [P].

张言库 ;

李俊普 ;

刘兴龙 ;

李晓光 ;

赵丽梅 ;

李恩志 .

中国专利 :CN214787635U ,2021-11-19

[7]

一种毛呢面料后处理装置 [P].

周碎国 ;

蓝燕 .

中国专利 :CN217922737U ,2022-11-29

[8]

一种橡胶的后处理装置 [P].

陈伯清 ;

胡东明 ;

蒋杰 ;

裴小红 ;

彭照亮 ;

张昱 .

中国专利 :CN215095837U ,2021-12-10

[9]

一种基板后处理装置 [P].

王剑 ;

王同庆 .

中国专利 :CN113990778B ,2024-08-20

[10]

一种基板后处理装置 [P].

路新春 ;

赵德文 ;

曾钦阳 ;

李长坤 .

中国专利 :CN115472523B ,2024-11-19

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