金刚石线切割硅晶片的清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110251543.7

申请日：

2011-08-30

公开(公告)号：

CN102294332B

公开(公告)日：

2011-12-28

发明(设计)人：

于景俞建业曾斌叶平欧阳思周汤玮胡凯

申请人：

申请人地址：

337000 江西省萍乡市安源经济转型产业基地重庆路1号

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

代理机构：

萍乡益源专利事务所 36119

代理人：

张放强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-12-28	公开	公开
2012-02-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101185315146 IPC(主分类):B08B 3/12 专利申请号:2011102515437 申请日:20110830
2019-08-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/12 申请日:20110830 授权公告日:20130109 终止日期:20180830
2013-01-09	授权	授权

共 50 条

[1]

金刚石线切割 [P].

李优 .

中国专利 :CN308696854S ,2024-06-21

[2]

金刚石层叠硅晶片的制造方法及金刚石层叠硅晶片 [P].

古贺祥泰 .

中国专利 :CN111051579A ,2020-04-21

[3]

金刚石线切割装置 [P].

赵果 ;

吴伟平 ;

陈章水 ;

汤灿东 ;

李震 ;

雷理 ;

肖水水 ;

罗家明 ;

莫海文 .

中国专利 :CN113814758A ,2021-12-21

[4]

用金刚石线切割水晶的方法 [P].

王静 .

中国专利 :CN102555090A ,2012-07-11

[5]

一种使用金刚石线切割的太阳能级硅晶片及其切割方法 [P].

于景 ;

俞建业 ;

曾斌 ;

叶平 ;

欧阳思周 ;

汤玮 ;

胡凯 .

中国专利 :CN102390094A ,2012-03-28

[6]

一种金刚石线切割硅棒的切割工艺 [P].

王建锁 ;

范靖 .

中国专利 :CN103991140A ,2014-08-20

[7]

一种金刚石线切割硅废料的脱氧方法 [P].

余文轴 ;

杨帆 ;

陈浩 ;

魏鹏 ;

张生富 ;

党杰 ;

游志雄 ;

吕学伟 ;

扈玫珑 ;

刘许旸 ;

辛云涛 .

中国专利 :CN112441588A ,2021-03-05

[8]

用于晶棒的金刚石线切割方法 [P].

N·贝里沙 ;

R·德尚-瓦格纳 ;

C·鲁西 .

中国专利 :CN109262870B ,2019-01-25

[9]

一种金刚石线切割方法 [P].

刘洪建 ;

程东哲 .

中国专利 :CN109435079A ,2019-03-08

[10]

金刚石线切割锯及控制方法 [P].

丛长林 ;

谭洪 ;

孙孝言 ;

张成 ;

黄心强 ;

常晟 ;

王金栋 ;

吴国辉 .

中国专利 :CN120920811A ,2025-11-11

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