一种基片装夹装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810168689.7

申请日：

2018-02-28

公开(公告)号：

CN108110092A

公开(公告)日：

2018-06-01

发明(设计)人：

刘旭

申请人：

申请人地址：

102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

北京维澳专利代理有限公司 11252

代理人：

周放;张应

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-23	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更事项:申请人变更前:东泰高科装备科技(北京)有限公司变更后:东泰高科装备科技有限公司变更事项:地址变更前:102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室变更后:102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室
2021-02-23	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 31/18 登记生效日:20210207 变更事项:申请人变更前权利人:东泰高科装备科技有限公司变更后权利人:紫石能源有限公司变更事项:地址变更前权利人:102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室变更后权利人:102208 北京市昌平区育知东路30号院1号楼6层3单元611
2018-06-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20180228
2018-06-01	公开	公开
2021-02-23	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更事项:申请人变更前:北京创昱科技有限公司变更后:东泰高科装备科技(北京)有限公司变更事项:地址变更前:102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室变更后:102299 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室

共 50 条

[1]

一种基片装夹装置 [P].

刘旭 .

中国专利 :CN207834332U ,2018-09-07

[2]

一种基片装夹装置 [P].

刘旭 .

中国专利 :CN208054442U ,2018-11-06

[3]

一种真空溅射镀膜基片的装夹装置 [P].

王新 ;

牛建国 .

中国专利 :CN205011833U ,2016-02-03

[4]

一种可调靶基距的基片装夹装置 [P].

姜翠宁 .

中国专利 :CN214142520U ,2021-09-07

[5]

一种装夹结构、装夹装置 [P].

薛敏海 ;

魏清亮 ;

乔月忠 ;

陈明伟 ;

刘言欣 .

中国专利 :CN111645004A ,2020-09-11

[6]

一种装夹结构、装夹装置 [P].

薛敏海 ;

魏清亮 ;

乔月忠 ;

陈明伟 ;

刘言欣 .

中国专利 :CN212385341U ,2021-01-22

[7]

一种装夹结构、装夹装置 [P].

薛敏海 ;

魏清亮 ;

乔月忠 ;

陈明伟 ;

刘言欣 .

中国专利 :CN111645004B ,2025-06-13

[8]

一种装夹装置及装夹方法 [P].

金星 ;

张琪 ;

臧晓伟 ;

陆玉钧 ;

张威 ;

柳鹏 ;

张原平 .

中国专利 :CN107186508A ,2017-09-22

[9]

一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法 [P].

王新 ;

牛建国 .

中国专利 :CN105088169A ,2015-11-25

[10]

一种装夹装置 [P].

聂志亭 ;

张勐荣 .

中国专利 :CN204584301U ,2015-08-26

← 1 2 3 4 5 →