一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510540934.9

申请日：

2015-08-23

公开(公告)号：

CN105088169A

公开(公告)日：

2015-11-25

发明(设计)人：

王新牛建国

申请人：

申请人地址：

471000 河南省洛阳市孟津县朝阳镇后李村

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-25	公开	公开
2015-12-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101638520786 IPC(主分类):C23C 14/50 专利申请号:2015105409349 申请日:20150823
2018-07-10	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/50 申请公布日:20151125

共 50 条

[1]

一种真空溅射镀膜基片的装夹装置 [P].

王新 ;

牛建国 .

中国专利 :CN205011833U ,2016-02-03

[2]

一种真空溅射镀膜装置 [P].

闫都伦 ;

王克斌 ;

吴细标 ;

唐贵民 .

中国专利 :CN204803396U ,2015-11-25

[3]

一种真空溅射镀膜装置 [P].

王振东 ;

何万能 .

中国专利 :CN207483836U ,2018-06-12

[4]

一种真空溅射镀膜装置 [P].

胡兴微 ;

蒋玉东 .

中国专利 :CN212152430U ,2020-12-15

[5]

一种真空溅射镀膜装置 [P].

王振东 ;

何万能 .

中国专利 :CN107523792A ,2017-12-29

[6]

一种真空溅射镀膜装置 [P].

胡兴微 ;

蒋玉东 .

中国专利 :CN212175030U ,2020-12-18

[7]

一种用于真空溅射镀膜的异形曲面基片工件架 [P].

袁帅 ;

欧阳杰 ;

刘国利 ;

李国强 .

中国专利 :CN118480765A ,2024-08-13

[8]

一种用于真空溅射镀膜的异形曲面基片工件架 [P].

袁帅 ;

欧阳杰 ;

刘国利 ;

李国强 .

中国专利 :CN118480765B ,2025-10-17

[9]

陶瓷板真空溅射镀膜装置及其镀膜方法 [P].

王维昀 ;

王新强 ;

李永德 ;

王后锦 ;

袁冶 ;

康俊杰 .

中国专利 :CN110760807A ,2020-02-07

[10]

一种真空溅射镀膜设备 [P].

郭鸿杰 ;

徐子鹏 ;

张浩辉 .

中国专利 :CN120249921A ,2025-07-04

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