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一种掩膜板清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921340927.4
申请日：
2019-08-19
公开(公告)号：
CN210666330U
公开(公告)日：
2020-06-02
发明(设计)人：
张明
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区西乡街道桃源社区航城工业区智汇创新中心A栋331
IPC主分类号：
G03F182
IPC分类号：
代理机构：
深圳市世联合知识产权代理有限公司 44385
代理人：
汪琳琳
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-02 | 授权 | 授权 |