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一种掩膜板清洗装置
被引：0
申请号：
CN202122742551.3
申请日：
2021-11-10
公开(公告)号：
CN216434663U
公开(公告)日：
2022-05-03
发明(设计)人：
张麒麟
白阳阳
申请人：
申请人地址：
351100 福建省莆田市涵江区涵中西路1号
IPC主分类号：
G03F182
IPC分类号：
代理机构：
福州君诚知识产权代理有限公司 35211
代理人：
戴雨君
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-05-03 | 授权 | 授权 |