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一种掩膜板清洗装置及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111326711.4
申请日：
2021-11-10
公开(公告)号：
CN113985697A
公开(公告)日：
2022-01-28
发明(设计)人：
张麒麟
白阳阳
申请人：
申请人地址：
351100 福建省莆田市涵江区涵中西路1号
IPC主分类号：
G03F182
IPC分类号：
代理机构：
福州君诚知识产权代理有限公司 35211
代理人：
戴雨君
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-28 | 公开 | 公开 |
| 2022-02-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/82 申请日:20211110 |