掩膜板清洗装置及清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610182823.X

申请日：

2016-03-28

公开(公告)号：

CN105607414A

公开(公告)日：

2016-05-25

发明(设计)人：

陈中明

申请人：

申请人地址：

430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋

IPC主分类号：

G03F182

IPC分类号：

代理机构：

深圳市德力知识产权代理事务所 44265

代理人：

林才桂

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-25	公开	公开
2016-06-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101666697813 IPC(主分类):G03F 1/82 专利申请号:201610182823X 申请日:20160328
2019-09-24	授权	授权

共 50 条

[1]

光掩膜板清洗装置及清洗光掩膜板的方法 [P].

王向阳 .

中国专利 :CN106324981B ,2017-01-11

[2]

掩膜板的清洗方法及清洗装置 [P].

李金川 .

中国专利 :CN104409328B ,2015-03-11

[3]

掩膜板清洗装置和掩膜板清洗系统 [P].

杨成发 ;

黄俊杰 ;

尹志 ;

刘旭 ;

王震 ;

井昱 .

中国专利 :CN207502906U ,2018-06-15

[4]

一种掩膜板清洗装置以及掩膜板的清洗方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117983565B ,2024-12-20

[5]

一种掩膜板清洗装置以及掩膜板的清洗方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117983565A ,2024-05-07

[6]

一种掩膜板清洗设备及掩膜板清洗方法 [P].

陈策 ;

周元 ;

欧凌涛 .

中国专利 :CN111748768B ,2020-10-09

[7]

掩膜板自动清洗系统及方法 [P].

祖伟 .

中国专利 :CN106773528A ,2017-05-31

[8]

一种掩膜板的清洗方法及清洗装置 [P].

张明 .

中国专利 :CN112387693A ,2021-02-23

[9]

一种掩膜板清洗装置 [P].

江欢 ;

余溁 .

中国专利 :CN210304791U ,2020-04-14

[10]

掩膜板的清洗方法及装置 [P].

彭兆基 ;

蒋明华 .

中国专利 :CN108267929A ,2018-07-10

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