掩膜板的清洗方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710002032.9

申请日：

2017-01-03

公开(公告)号：

CN108267929A

公开(公告)日：

2018-07-10

发明(设计)人：

彭兆基蒋明华

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢

IPC主分类号：

G03F182

IPC分类号：

B08B302 B08B308 B08B312

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

唐清凯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/82 申请日:20170103
2018-07-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种掩膜板的清洗方法及清洗装置 [P].

张明 .

中国专利 :CN112387693A ,2021-02-23

[2]

光掩膜板清洗装置及清洗光掩膜板的方法 [P].

王向阳 .

中国专利 :CN106324981B ,2017-01-11

[3]

掩膜板的清洗方法及清洗装置 [P].

李金川 .

中国专利 :CN104409328B ,2015-03-11

[4]

掩膜板清洗装置及清洗方法 [P].

陈中明 .

中国专利 :CN105607414A ,2016-05-25

[5]

一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法 [P].

潘晟恺 ;

熊腾青 ;

刘杰 ;

杨凯 ;

乔永康 ;

李如 .

中国专利 :CN107526247A ,2017-12-29

[6]

掩膜板的后处理方法及掩膜板 [P].

刘明星 ;

李俊峰 ;

周丽芳 ;

高峰 .

中国专利 :CN108251794A ,2018-07-06

[7]

掩膜板清洗装置和掩膜板清洗系统 [P].

杨成发 ;

黄俊杰 ;

尹志 ;

刘旭 ;

王震 ;

井昱 .

中国专利 :CN207502906U ,2018-06-15

[8]

一种掩膜板清洗装置以及掩膜板的清洗方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117983565B ,2024-12-20

[9]

一种掩膜板清洗设备及掩膜板清洗方法 [P].

陈策 ;

周元 ;

欧凌涛 .

中国专利 :CN111748768B ,2020-10-09

[10]

一种掩膜板清洗装置以及掩膜板的清洗方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN117983565A ,2024-05-07

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