抛光组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN99111114.1

申请日：

1999-07-23

公开(公告)号：

CN1263923A

公开(公告)日：

2000-08-23

发明(设计)人：

李吉成李在锡金硕珍李荣基张斗远

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

C09G108

IPC分类号：

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

丁业平;王达佐

法律状态：

著录项目变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2000-10-25	著录项目变更	著录项目变更变更事项:申请人变更前:三星综合化学株式会社变更后:第一毛织株式会社变更事项:地址变更前:韩国忠清南道变更后:韩国庆尚北道
2019-08-16	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C09G 1/08 申请日:19990723 授权公告日:20031217
2003-12-17	授权	授权
2000-08-23	公开	公开

共 50 条

[1]

用于化学机械抛光的组合物 [P].

李吉成 ;

金硕珍 ;

李在锡 ;

张斗远 .

中国专利 :CN1296049A ,2001-05-23

[2]

用于金属布线的化学机械抛光的浆液组合物 [P].

李在锡 ;

都元重 ;

卢炫秀 ;

李吉成 ;

李钟元 ;

尹普彦 ;

河商录 ;

朴俊相 ;

洪昌基 .

中国专利 :CN1243370C ,2004-10-20

[3]

一种抛光组合物 [P].

王同庆 ;

顾忠华 ;

黄灿荣 ;

顾敏敏 ;

王鑫 ;

潘国顺 .

中国专利 :CN106189873A ,2016-12-07

[4]

抛光组合物 [P].

詹姆斯·麦克多诺 .

中国专利 :CN112760041B ,2021-05-07

[5]

抛光组合物 [P].

金路 ;

陶琴 ;

张力飞 ;

顾忠华 ;

刘琳 ;

王同庆 ;

路新春 .

中国专利 :CN119307183A ,2025-01-14

[6]

化学机械抛光组合物和用于抛光钨的方法 [P].

Y·郭 ;

R·L·小拉沃伊 .

中国专利 :CN105315894A ,2016-02-10

[7]

适用于集成电路铜互连结构化学机械抛光的抛光组合物及其应用 [P].

李国庆 ;

卞鹏程 ;

王庆伟 ;

崔晓坤 ;

王瑞芹 ;

徐贺 ;

王永东 ;

卫旻嵩 .

中国专利 :CN117683467A ,2024-03-12

[8]

适用于集成电路铜互连结构化学机械抛光的抛光组合物及其应用 [P].

李国庆 ;

卞鹏程 ;

朱林君 ;

卫旻嵩 .

中国专利 :CN119264816A ,2025-01-07

[9]

适用于集成电路制造中阻挡层化学机械抛光的抛光组合物及其应用 [P].

李国庆 ;

卞鹏程 .

中国专利 :CN118222186A ,2024-06-21

[10]

一种可提高硅晶片抛光精度的抛光组合物及其制备方法 [P].

潘国顺 ;

顾忠华 ;

邹春莉 ;

高源 .

中国专利 :CN102408837B ,2012-04-11

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