一种抛光组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610584904.2

申请日：

2016-07-22

公开(公告)号：

CN106189873A

公开(公告)日：

2016-12-07

发明(设计)人：

王同庆顾忠华黄灿荣顾敏敏王鑫潘国顺

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区100084-82信箱

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

李志东

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101695214814 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2016105849042 申请日:20160722
2016-12-07	公开	公开
2018-12-18	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C09G 1/02 申请公布日:20161207

共 50 条

[1]

一种适用于砷化镓晶片的化学机械抛光组合物 [P].

王同庆 ;

黄灿容 ;

顾敏敏 ;

王鑫 ;

顾忠华 ;

潘国顺 .

中国专利 :CN106833389A ,2017-06-13

[2]

玻璃抛光用组合物 [P].

肖辉亚 ;

黄灿容 ;

田露 ;

李浩 .

中国专利 :CN108774467A ,2018-11-09

[3]

一种适用于晶片边缘抛光的组合物及其制备方法 [P].

潘国顺 ;

顾忠华 ;

龚桦 ;

邹春莉 ;

罗桂海 ;

王鑫 ;

陈高攀 .

中国专利 :CN104479559B ,2015-04-01

[4]

一种硅晶片精抛光组合物及制备方法 [P].

潘国顺 ;

顾忠华 ;

龚桦 ;

邹春莉 ;

罗桂海 ;

王鑫 ;

陈高攀 .

中国专利 :CN104530987A ,2015-04-22

[5]

一种硅晶片细抛光组合物及其制备方法 [P].

潘国顺 ;

顾忠华 ;

龚桦 ;

邹春莉 ;

罗桂海 ;

王鑫 ;

陈高攀 .

中国专利 :CN104559797B ,2015-04-29

[6]

一种适用于硅晶片边抛光的抛光组合物及其制备方法 [P].

潘国顺 ;

顾忠华 ;

罗桂海 ;

龚桦 ;

邹春莉 ;

陈高攀 ;

王鑫 .

中国专利 :CN103740280A ,2014-04-23

[7]

一种适用于大尺寸硅晶片抛光的抛光组合物及其制备方法 [P].

潘国顺 ;

顾忠华 ;

罗桂海 ;

龚桦 ;

邹春莉 ;

陈高攀 ;

王鑫 .

中国专利 :CN103740281A ,2014-04-23

[8]

抛光组合物 [P].

李吉成 ;

李在锡 ;

金硕珍 ;

李荣基 ;

张斗远 .

中国专利 :CN1263923A ,2000-08-23

[9]

一种硅晶片抛光组合物及其制备方法 [P].

潘国顺 ;

顾忠华 ;

龚桦 ;

邹春莉 .

中国专利 :CN102516873B ,2012-06-27

[10]

一种可提高硅晶片抛光精度的抛光组合物及其制备方法 [P].

潘国顺 ;

顾忠华 ;

邹春莉 ;

高源 .

中国专利 :CN102408837B ,2012-04-11

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