液相外延生长薄膜的衬底夹具

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03114817.4

申请日：

2003-01-10

公开(公告)号：

CN1207449C

公开(公告)日：

2003-06-18

发明(设计)人：

赵广军何晓明徐军王海丽刘军芳

申请人：

申请人地址：

201800上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

C30B1912

IPC分类号：

C30B3312

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-06-22	授权	授权
2003-09-03	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-03-10	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2003-06-18	公开	公开

共 50 条

[1]

液相外延生长薄膜的衬底夹具 [P].

赵广军 ;

何晓明 ;

徐军 ;

王海丽 ;

刘军芳 .

中国专利 :CN2594282Y ,2003-12-24

[2]

一种用于液相外延生长的衬底夹具 [P].

胡露 ;

侯田江 ;

马晓 ;

赵文琪 .

中国专利 :CN223561755U ,2025-11-18

[3]

一种用于液相外延生长晶圆的衬底夹具 [P].

陈腾波 ;

张榕贵 ;

李来超 ;

高浩然 ;

雷云 .

中国专利 :CN222499460U ,2025-02-18

[4]

一种液相外延法制取薄膜的衬底夹具 [P].

郑智雄 ;

南毅 ;

张伟娜 ;

王致绪 ;

邹予 ;

马殿军 ;

赵志跃 ;

汪健 ;

戴文伟 .

中国专利 :CN101760776A ,2010-06-30

[5]

一种液相外延工装及利用其液相外延生长薄膜的方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN120485941A ,2025-08-15

[6]

一种液相外延工装及利用其液相外延生长薄膜的方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN120485941B ,2025-10-17

[7]

一种铋掺杂稀土铁石榴石薄膜生长的液相外延衬底夹具 [P].

侯田江 .

中国专利 :CN214529316U ,2021-10-29

[8]

立式液相外延薄膜生长炉 [P].

宋立禄 ;

张海林 ;

刘国霞 .

中国专利 :CN306811218S ,2021-09-07

[9]

在镓砷衬底上生长铟砷锑薄膜的液相外延生长方法 [P].

彭长涛 ;

陈诺夫 ;

吴金良 ;

陈晨龙 .

中国专利 :CN100369203C ,2006-06-07

[10]

用于液相外延法生长石榴石单晶单面厚膜的衬底夹具 [P].

杨青慧 ;

杨雪 ;

张鼎 ;

张元婧 ;

黄建涛 ;

张怀武 .

中国专利 :CN113073383A ,2021-07-06

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