一种液相外延工装及利用其液相外延生长薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510737888.5

申请日：

2025-06-04

公开(公告)号：

CN120485941B

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

请求不公布姓名

申请人：

北京智创芯源科技有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区经海三路106号1幢一层

IPC主分类号：

C30B19/06

IPC分类号：

C30B19/10

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

任美玲

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	授权	授权
2025-08-15	公开	公开
2025-09-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 19/06申请日:20250604

共 50 条

[1]

一种液相外延工装及利用其液相外延生长薄膜的方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN120485941A ,2025-08-15

[2]

液相外延生长薄膜的衬底夹具 [P].

赵广军 ;

何晓明 ;

徐军 ;

王海丽 ;

刘军芳 .

中国专利 :CN1207449C ,2003-06-18

[3]

液相外延生长薄膜的衬底夹具 [P].

赵广军 ;

何晓明 ;

徐军 ;

王海丽 ;

刘军芳 .

中国专利 :CN2594282Y ,2003-12-24

[4]

一种用于液相外延生长的石墨舟及液相外延生长方法 [P].

田震 ;

周立庆 ;

马建立 ;

胡尚正 .

中国专利 :CN102995115B ,2013-03-27

[5]

一种液相外延生长工装 [P].

许军 ;

张傲 ;

许佳康 .

中国专利 :CN119710902A ,2025-03-28

[6]

立式液相外延薄膜生长炉 [P].

宋立禄 ;

张海林 ;

刘国霞 .

中国专利 :CN306811218S ,2021-09-07

[7]

双坩埚液相外延生长装置 [P].

宋波 ;

张晗旭 ;

朱森寅 ;

王先杰 ;

韩杰才 .

中国专利 :CN114752997A ,2022-07-15

[8]

减少表面缺陷的水平液相外延石墨舟以及水平液相外延生长方法 [P].

黄晟 ;

黄立 ;

张冰洁 ;

彭清琪 .

中国专利 :CN118910719A ,2024-11-08

[9]

液相外延水平生长晶体薄膜用的容器 [P].

钟兴儒 ;

徐自亮 ;

田金法 ;

吴金良 ;

陈诺夫 .

中国专利 :CN2397130Y ,2000-09-20

[10]

液相外延炉 [P].

杨思强 ;

尹燕彬 ;

姜鸿云 ;

高安硕 .

中国专利 :CN309531385S ,2025-10-03

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