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一种用于液相外延生长的石墨舟及液相外延生长方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201210581874.1
申请日
:
2012-12-27
公开(公告)号
:
CN102995115B
公开(公告)日
:
2013-03-27
发明(设计)人
:
田震
周立庆
马建立
胡尚正
申请人
:
申请人地址
:
100015 北京市朝阳区酒仙桥路4号
IPC主分类号
:
C30B1906
IPC分类号
:
C30B1900
代理机构
:
工业和信息化部电子专利中心 11010
代理人
:
齐洁茹
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2013-03-27
公开
公开
2013-04-24
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101444323558 IPC(主分类):C30B 19/06 专利申请号:2012105818741 申请日:20121227
2015-07-29
授权
授权
共 50 条
[1]
水平液相外延石墨舟、生长系统、外延方法和生长方法
[P].
不公告发明人
论文数:
0
引用数:
0
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0
不公告发明人
.
中国专利
:CN112080796B
,2020-12-15
[2]
水平液相外延石墨舟、生长系统、外延方法和生长方法
[P].
不公告发明人
论文数:
0
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0
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0
不公告发明人
.
中国专利
:CN111962146A
,2020-11-20
[3]
水平液相外延石墨舟、生长系统、外延方法及生长方法
[P].
不公告发明人
论文数:
0
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0
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0
不公告发明人
.
中国专利
:CN114934317A
,2022-08-23
[4]
减少表面缺陷的水平液相外延石墨舟以及水平液相外延生长方法
[P].
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机构:
黄晟
;
黄立
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机构:
武汉高芯科技有限公司
武汉高芯科技有限公司
黄立
;
张冰洁
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机构:
武汉高芯科技有限公司
武汉高芯科技有限公司
张冰洁
;
彭清琪
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机构:
武汉高芯科技有限公司
武汉高芯科技有限公司
彭清琪
.
中国专利
:CN118910719A
,2024-11-08
[5]
一种用于水平液相外延生长的石墨舟
[P].
邸拴虎
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邸拴虎
;
袁卫华
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袁卫华
;
魏唯
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魏唯
;
罗才旺
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罗才旺
;
罗臻
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罗臻
.
中国专利
:CN111118597B
,2020-05-08
[6]
一种用于水平液相外延生长的石墨舟
[P].
罗才旺
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0
罗才旺
;
陈峰武
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陈峰武
;
魏唯
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魏唯
.
中国专利
:CN107779948A
,2018-03-09
[7]
能减少表面宏观波纹的水平液相外延石墨舟以及水平液相外延生长方法
[P].
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机构:
黄晟
;
黄立
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机构:
武汉高芯科技有限公司
武汉高芯科技有限公司
黄立
;
张冰洁
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机构:
武汉高芯科技有限公司
武汉高芯科技有限公司
张冰洁
;
彭清琪
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机构:
武汉高芯科技有限公司
武汉高芯科技有限公司
彭清琪
.
中国专利
:CN118910718A
,2024-11-08
[8]
一种用于超薄外延层生长的液相外延石墨舟及其生长方法
[P].
邱锋
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邱锋
;
胡淑红
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胡淑红
;
孙常鸿
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孙常鸿
;
王奇伟
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王奇伟
;
吕英飞
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吕英飞
;
郭建华
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郭建华
;
邓惠勇
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邓惠勇
;
戴宁
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戴宁
.
中国专利
:CN102732952A
,2012-10-17
[9]
一种用于超薄外延层生长的液相外延石墨舟及其生长方法
[P].
邱锋
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邱锋
;
胡淑红
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胡淑红
;
孙常鸿
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孙常鸿
;
王奇伟
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王奇伟
;
吕英飞
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吕英飞
;
郭建华
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郭建华
;
邓惠勇
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邓惠勇
;
戴宁
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戴宁
.
中国专利
:CN103088410B
,2013-05-08
[10]
一种用于超薄外延层生长的液相外延石墨舟
[P].
邱锋
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邱锋
;
胡淑红
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胡淑红
;
孙常鸿
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孙常鸿
;
王奇伟
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王奇伟
;
吕英飞
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吕英飞
;
郭建华
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郭建华
;
邓惠勇
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邓惠勇
;
戴宁
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戴宁
.
中国专利
:CN203128690U
,2013-08-14
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