液相外延炉

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN202530085106.5

申请日：

2025-02-26

公开(公告)号：

CN309531385S

公开(公告)日：

2025-10-03

发明(设计)人：

杨思强尹燕彬姜鸿云高安硕

申请人：

青岛赛瑞得伟创电子科技有限公司

申请人地址：

266000 山东省青岛市城阳区夏庄街道仙山东路33号一层

IPC主分类号：

23-03

IPC分类号：

代理机构：

青岛星帆专利代理事务所(普通合伙) 37503

代理人：

丁东东

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-03	授权	授权

共 50 条

[1]

立式液相外延炉 [P].

张海林 ;

崔慧敏 ;

臧一平 .

中国专利 :CN203569235U ,2014-04-30

[2]

立式液相外延炉 [P].

张海林 ;

崔慧敏 ;

臧一平 .

中国专利 :CN103526281B ,2014-01-22

[3]

立式液相外延薄膜生长炉 [P].

宋立禄 ;

张海林 ;

刘国霞 .

中国专利 :CN306811218S ,2021-09-07

[4]

液相外延取片铲 [P].

许军 ;

赵倩 .

中国专利 :CN223292704U ,2025-09-02

[5]

磷化镓液相外延装置 [P].

丁祖昌 ;

华伟民 .

中国专利 :CN2044378U ,1989-09-13

[6]

双坩埚液相外延生长装置 [P].

宋波 ;

张晗旭 ;

朱森寅 ;

王先杰 ;

韩杰才 .

中国专利 :CN114752997A ,2022-07-15

[7]

一种液相外延工装及利用其液相外延生长薄膜的方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN120485941A ,2025-08-15

[8]

提高垂直液相外延温场均匀性的方法及垂直液相外延系统 [P].

郝斐 ;

杨海燕 ;

折伟林 ;

邢晓帅 ;

胡易林 ;

曹鹏飞 .

中国专利 :CN117535785A ,2024-02-09

[9]

一种液相外延工装及利用其液相外延生长薄膜的方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN120485941B ,2025-10-17

[10]

一种垂直液相外延炉废汞收集结构 [P].

潘春波 ;

熊雄 ;

毛剑宏 .

中国专利 :CN223238633U ,2025-08-19

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