立式液相外延炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320605933.4

申请日：

2013-09-29

公开(公告)号：

CN203569235U

公开(公告)日：

2014-04-30

发明(设计)人：

张海林崔慧敏臧一平

申请人：

申请人地址：

266000 山东省青岛市李沧区铜川路10号

IPC主分类号：

C30B1900

IPC分类号：

代理机构：

山东清泰律师事务所 37222

代理人：

宁燕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-30	授权	授权
2016-05-11	避免重复授权放弃专利权	避免重复授予专利权号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101732035606 IPC(主分类):C30B 19/00 专利号:ZL2013206059334 申请日:20130929 授权公告日:20140430 放弃生效日:20160511

共 50 条

[1]

立式液相外延炉 [P].

张海林 ;

崔慧敏 ;

臧一平 .

中国专利 :CN103526281B ,2014-01-22

[2]

立式液相外延薄膜生长炉 [P].

宋立禄 ;

张海林 ;

刘国霞 .

中国专利 :CN306811218S ,2021-09-07

[3]

液相外延炉 [P].

杨思强 ;

尹燕彬 ;

姜鸿云 ;

高安硕 .

中国专利 :CN309531385S ,2025-10-03

[4]

多片立式旋转液相外延石墨舟 [P].

张富文 ;

元金山 ;

李向文 .

中国专利 :CN2413385Y ,2001-01-03

[5]

一种垂直液相外延炉废汞收集结构 [P].

潘春波 ;

熊雄 ;

毛剑宏 .

中国专利 :CN223238633U ,2025-08-19

[6]

液相外延生长薄膜的衬底夹具 [P].

赵广军 ;

何晓明 ;

徐军 ;

王海丽 ;

刘军芳 .

中国专利 :CN2594282Y ,2003-12-24

[7]

液相外延取片铲 [P].

许军 ;

赵倩 .

中国专利 :CN223292704U ,2025-09-02

[8]

气相、液相热媒炉并网系统 [P].

朱伟锴 .

中国专利 :CN203177482U ,2013-09-04

[9]

磷化镓液相外延装置 [P].

丁祖昌 ;

华伟民 .

中国专利 :CN2044378U ,1989-09-13

[10]

DH－Ga1－xAlxAsLED液相外延片 [P].

元金山 ;

张富文 ;

李向文 .

中国专利 :CN2413388Y ,2001-01-03

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