一种八寸晶圆框架

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220514726.3

申请日：

2012-10-09

公开(公告)号：

CN202888145U

公开(公告)日：

2013-04-17

发明(设计)人：

李德峰

申请人：

申请人地址：

215345 江苏省苏州市昆山市淀山湖镇双马路85号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-17	授权	授权
2017-12-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20121009 授权公告日:20130417 终止日期:20161009

共 50 条

[1]

一种十二寸晶圆框架 [P].

李德峰 .

中国专利 :CN202957225U ,2013-05-29

[2]

一种八寸框架 [P].

刘红军 .

中国专利 :CN214848540U ,2021-11-23

[3]

兼容六寸和八寸晶圆的吸附载台 [P].

赵裕兴 ;

卢铎文 .

中国专利 :CN221783188U ,2024-09-27

[4]

一种8寸转6寸晶圆夹具 [P].

秦东魁 ;

熊祥祥 .

中国专利 :CN223651394U ,2025-12-09

[5]

一种6寸晶圆盒和8寸晶圆盒共用承载台 [P].

陈文顶 ;

陈兆祥 .

中国专利 :CN223167451U ,2025-07-29

[6]

一种6寸晶圆片及8寸晶圆片共用的吸附装置 [P].

陈文顶 ;

陈兆祥 .

中国专利 :CN223092856U ,2025-07-11

[7]

一种兼容4、6寸晶圆的晶圆载具 [P].

罗涛 .

中国专利 :CN216311737U ,2022-04-15

[8]

一种12英寸晶圆用PFA晶圆盒矫正装置 [P].

张荣彬 ;

陈信 ;

于兴瑞 ;

蒙德强 ;

程怀璋 ;

潘世林 ;

王占滨 ;

梁鹏飞 .

中国专利 :CN223173553U ,2025-08-01

[9]

一种十二寸晶圆盒解锁装置 [P].

王晓飞 ;

顾文豪 ;

张宵雨 .

中国专利 :CN218385140U ,2023-01-24

[10]

一种12英寸晶圆移动平台 [P].

金成 ;

常皓明 ;

陈业康 .

中国专利 :CN216528802U ,2022-05-13

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