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兼容六寸和八寸晶圆的吸附载台
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323550313.8
申请日：
2023-12-26
公开(公告)号：
CN221783188U
公开(公告)日：
2024-09-27
发明(设计)人：
赵裕兴
卢铎文
申请人：
苏州德龙激光股份有限公司
申请人地址：
215021 江苏省苏州市工业园区杏林街98号
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
代理机构：
江苏圣典律师事务所 32237
代理人：
王玉国
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
苏州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-27 | 授权 | 授权 |