晶圆吸附载盘

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720396061.3

申请日：

2017-04-14

公开(公告)号：

CN206733378U

公开(公告)日：

2017-12-12

发明(设计)人：

马英腾谢启祥施英汝

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市科学园区工业东二路8号

IPC主分类号：

B28D704

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218

代理人：

翟羽;高翠花

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-12	授权	授权
2021-03-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B28D 7/04 申请日:20170414 授权公告日:20171212 终止日期:20200414

共 50 条

[1]

晶圆陶瓷真空吸附载盘 [P].

秦尔君 ;

马喜军 ;

李亚林 .

中国专利 :CN217983304U ,2022-12-06

[2]

一种晶圆吸附载盘 [P].

姬煜 ;

赵通 .

中国专利 :CN213164997U ,2021-05-11

[3]

一种晶圆吸附载盘 [P].

陈晓静 ;

潘国刚 .

中国专利 :CN210805729U ,2020-06-19

[4]

半导体晶圆的吸附载盘及吸附旋转的气路机构 [P].

孙雪琛 ;

万磊 ;

黄华 ;

龚政 .

中国专利 :CN218069813U ,2022-12-16

[5]

一种晶圆吸附盘 [P].

张生 .

中国专利 :CN223092854U ,2025-07-11

[6]

一种适用于多尺寸晶圆的晶圆真空吸附载盘 [P].

周益初 ;

卢利军 .

中国专利 :CN222734967U ,2025-04-08

[7]

一种晶圆片热处理用吸附载台 [P].

顾少俊 ;

周航 ;

黄柱龙 .

中国专利 :CN221201130U ,2024-06-21

[8]

一种晶圆升降水下吸附载台机构 [P].

王燕平 ;

虞光耀 .

中国专利 :CN222071912U ,2024-11-26

[9]

兼容六寸和八寸晶圆的吸附载台 [P].

赵裕兴 ;

卢铎文 .

中国专利 :CN221783188U ,2024-09-27

[10]

一种晶圆吸附载台及扩膜设备 [P].

郭庆 ;

周锦杰 ;

马林 ;

徐博文 ;

王正根 .

中国专利 :CN221928037U ,2024-10-29

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