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一种晶圆片热处理用吸附载台
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322785497.X
申请日：
2023-10-18
公开(公告)号：
CN221201130U
公开(公告)日：
2024-06-21
发明(设计)人：
顾少俊
周航
黄柱龙
申请人：
鑫德斯特电子设备（安徽）有限公司
申请人地址：
243000 安徽省马鞍山市慈湖高新区霍里山大道北段1669号3栋
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
南通亿旸知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32578
代理人：
朱玲琳
法律状态：
授权
国省代码：
安徽省
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-06-21 | 授权 | 授权 |