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一种晶圆片表面热处理辅助装置

被引：0
申请号：
CN202222469068.7
申请日：
2022-09-19
公开(公告)号：
CN218351422U
公开(公告)日：
2023-01-20
发明(设计)人：
顾少俊 耿伟 周航 余珺
申请人：
申请人地址：
243000 安徽省马鞍山市慈湖高新区霍里山大道北段1669号3栋
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21673
代理机构：
南通亿旸知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32578
代理人：
杨利娟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2023-01-20 授权 授权
共 50 条
[1]
一种热处理设备晶圆凸片检测装置 [P]. 
顾少俊 ;
耿伟 ;
张西东 .
中国专利 :CN221226162U ,2024-06-25
[2]
一种热处理设备用晶圆片承载装置 [P]. 
顾少俊 ;
黄柱龙 ;
余珺 .
中国专利 :CN221727087U ,2024-09-17
[3]
一种热处理设备用晶圆片传输装置 [P]. 
顾少俊 ;
黄柱龙 ;
耿伟 .
中国专利 :CN221304630U ,2024-07-09
[4]
一种晶圆片热处理气路调节装置 [P]. 
顾少俊 ;
耿伟 ;
黄柱龙 .
中国专利 :CN221201096U ,2024-06-21
[5]
一种晶圆片表面处理系统 [P]. 
山世清 ;
黎弈夆 .
中国专利 :CN209056465U ,2019-07-02
[6]
一种晶圆片表面清洗装置 [P]. 
周旭 .
中国专利 :CN211879335U ,2020-11-06
[7]
一种晶圆片表面清洗装置 [P]. 
于如远 ;
李广德 ;
于强 .
中国专利 :CN215314273U ,2021-12-28
[8]
一种晶圆片热处理用吸附载台 [P]. 
顾少俊 ;
周航 ;
黄柱龙 .
中国专利 :CN221201130U ,2024-06-21
[9]
一种晶圆热处理装置 [P]. 
蒲以松 ;
独虎 ;
米文献 .
中国专利 :CN213988834U ,2021-08-17
[10]
一种晶圆热处理装置 [P]. 
黄雷 .
中国专利 :CN207651457U ,2018-07-24
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