一种晶圆升降水下吸附载台机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323320288.4

申请日：

2023-12-06

公开(公告)号：

CN222071912U

公开(公告)日：

2024-11-26

发明(设计)人：

王燕平虞光耀

申请人：

津上智造智能科技江苏有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区环普路9号环普国际产业园6号

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/683

代理机构：

南京文宸知识产权代理有限公司 32500

代理人：

何苗

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-26	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆吸附载盘 [P].

马英腾 ;

谢启祥 ;

施英汝 .

中国专利 :CN206733378U ,2017-12-12

[2]

一种晶圆吸附载盘 [P].

陆敏杰 ;

王兆昆 ;

高俊 .

中国专利 :CN117712011A ,2024-03-15

[3]

一种晶圆吸附载盘 [P].

陆敏杰 ;

王兆昆 ;

高俊 .

中国专利 :CN117712011B ,2024-04-19

[4]

一种晶圆吸附载盘 [P].

姬煜 ;

赵通 .

中国专利 :CN213164997U ,2021-05-11

[5]

一种晶圆吸附载盘 [P].

陈晓静 ;

潘国刚 .

中国专利 :CN210805729U ,2020-06-19

[6]

一种晶圆吸附载台及扩膜设备 [P].

郭庆 ;

周锦杰 ;

马林 ;

徐博文 ;

王正根 .

中国专利 :CN221928037U ,2024-10-29

[7]

半导体晶圆的吸附载盘及吸附旋转的气路机构 [P].

孙雪琛 ;

万磊 ;

黄华 ;

龚政 .

中国专利 :CN218069813U ,2022-12-16

[8]

晶圆陶瓷真空吸附载盘 [P].

秦尔君 ;

马喜军 ;

李亚林 .

中国专利 :CN217983304U ,2022-12-06

[9]

一种晶圆升降放置机构 [P].

谢建 ;

邹建军 ;

曾嘉诚 .

中国专利 :CN221379335U ,2024-07-19

[10]

一种晶圆翻转机构 [P].

张雄 ;

谢根源 ;

何豪文 ;

辛嘉伟 .

中国专利 :CN221841822U ,2024-10-15

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