一种晶圆升降放置机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323090220.1

申请日：

2023-11-16

公开(公告)号：

CN221379335U

公开(公告)日：

2024-07-19

发明(设计)人：

谢建邹建军曾嘉诚

申请人：

深圳市创一智能装备有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区沙井街道步涌社区大兴二路14号一层

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/673 H01L21/677

代理机构：

深圳市徽正知识产权代理有限公司 44405

代理人：

杨琳

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构 [P].

刘飞 ;

林宜龙 ;

丁克详 ;

邓睿 ;

唐若芹 ;

滕健 ;

林清岚 ;

李晓波 ;

王能翔 .

中国专利 :CN210743921U ,2020-06-12

[2]

一种带升降旋转功能的晶圆卡盘机构 [P].

葛春华 ;

陆宁宁 ;

夏笔健 .

中国专利 :CN223471591U ,2025-10-24

[3]

一种晶圆放置盒 [P].

何正鸿 ;

陶毅 ;

林金涛 .

中国专利 :CN220710270U ,2024-04-02

[4]

一种晶圆放置机构 [P].

沙建德 .

中国专利 :CN218160307U ,2022-12-27

[5]

一种带升降旋转功能的晶圆卡盘机构 [P].

葛春华 ;

陆宁宁 ;

夏笔健 .

中国专利 :CN119480771A ,2025-02-18

[6]

一种带升降旋转功能的晶圆卡盘机构 [P].

葛春华 ;

陆宁宁 ;

夏笔健 .

中国专利 :CN119480771B ,2025-05-27

[7]

一种晶圆气浮转台的调节机构和晶圆加工设备 [P].

万先进 ;

李帆 ;

谢烨超 ;

尤国振 ;

锁志勇 ;

秦宝宏 ;

边逸军 .

中国专利 :CN223680085U ,2025-12-16

[8]

一种晶圆膜的撕膜机构 [P].

葛春华 ;

陆宁宁 ;

夏笔健 .

中国专利 :CN223457264U ,2025-10-21

[9]

一种晶圆寻边和解胶机构 [P].

陆宁宁 ;

葛春华 ;

夏笔健 .

中国专利 :CN223471583U ,2025-10-24

[10]

一种晶圆运输机构、晶圆加工设备及晶圆运输方法 [P].

张琪 ;

符友银 ;

朱凯 .

中国专利 :CN119650501A ,2025-03-18

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