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一种晶圆运输机构、晶圆加工设备及晶圆运输方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510157152.0
申请日：
2025-02-13
公开(公告)号：
CN119650501A
公开(公告)日：
2025-03-18
发明(设计)人：
张琪
符友银
朱凯
申请人：
新毅东（北京）科技有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街甲5号3号楼1层101-8
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/68
H01L21/677
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
袁微微
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-18 | 公开 | 公开 |
| 2025-04-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20250213 |