晶圆加工设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422130962.0

申请日：

2024-08-30

公开(公告)号：

CN223006743U

公开(公告)日：

2025-06-20

发明(设计)人：

殷坤左瑞任学亭崔建波杨怀维

申请人：

威讯联合半导体（德州）有限公司

申请人地址：

253084 山东省德州市天衢新区东方红东路6868号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/683

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

张志华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆气浮转台的调节机构和晶圆加工设备 [P].

万先进 ;

李帆 ;

谢烨超 ;

尤国振 ;

锁志勇 ;

秦宝宏 ;

边逸军 .

中国专利 :CN223680085U ,2025-12-16

[2]

一种晶圆载台及晶圆加工设备 [P].

马正方 ;

朱国峰 .

中国专利 :CN120453220A ,2025-08-08

[3]

一种晶圆载台及晶圆加工设备 [P].

马正方 ;

朱国峰 .

中国专利 :CN120453220B ,2025-09-02

[4]

一种晶圆加工设备 [P].

柳天勇 ;

叶林旺 ;

胡长文 .

中国专利 :CN114227961B ,2022-03-25

[5]

一种晶圆加工设备 [P].

高修奎 ;

娄俊飞 ;

杨文宾 .

中国专利 :CN120527215A ,2025-08-22

[6]

一种晶圆运输机构、晶圆加工设备及晶圆运输方法 [P].

张琪 ;

符友银 ;

朱凯 .

中国专利 :CN119650501A ,2025-03-18

[7]

晶圆导电薄膜加工设备 [P].

刘相华 .

中国专利 :CN209804602U ,2019-12-17

[8]

一种晶圆气浮转台的调节机构和晶圆加工设备 [P].

万先进 ;

李帆 ;

谢烨超 ;

尤国振 ;

锁志勇 ;

秦宝宏 ;

边逸军 .

中国专利 :CN119694969A ,2025-03-25

[9]

晶圆放置平台和晶圆加工设备 [P].

何正鸿 ;

宋祥祎 ;

邹浩林 ;

陈泽 .

中国专利 :CN221805491U ,2024-10-01

[10]

晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

葛连朋 ;

杜煦 ;

周裕涵 ;

郭宝昆 ;

张军伟 .

中国专利 :CN221573890U ,2024-08-20

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