一种晶圆气浮转台的调节机构和晶圆加工设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411928607.6

申请日：

2024-12-25

公开(公告)号：

CN119694969A

公开(公告)日：

2025-03-25

发明(设计)人：

万先进李帆谢烨超尤国振锁志勇秦宝宏边逸军

申请人：

宁波芯丰精密科技有限公司

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区城东新区冶山路

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

罗爽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20241225
2025-03-25	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆气浮转台的调节机构和晶圆加工设备 [P].

万先进 ;

李帆 ;

谢烨超 ;

尤国振 ;

锁志勇 ;

秦宝宏 ;

边逸军 .

中国专利 :CN223680085U ,2025-12-16

[2]

一种晶圆运输机构、晶圆加工设备及晶圆运输方法 [P].

张琪 ;

符友银 ;

朱凯 .

中国专利 :CN119650501A ,2025-03-18

[3]

晶圆加工设备 [P].

殷坤 ;

左瑞 ;

任学亭 ;

崔建波 ;

杨怀维 .

中国专利 :CN223006743U ,2025-06-20

[4]

一种晶圆载台及晶圆加工设备 [P].

马正方 ;

朱国峰 .

中国专利 :CN120453220A ,2025-08-08

[5]

一种晶圆载台及晶圆加工设备 [P].

马正方 ;

朱国峰 .

中国专利 :CN120453220B ,2025-09-02

[6]

一种晶圆加工设备 [P].

柳天勇 ;

叶林旺 ;

胡长文 .

中国专利 :CN114227961B ,2022-03-25

[7]

一种晶圆加工设备 [P].

高修奎 ;

娄俊飞 ;

杨文宾 .

中国专利 :CN120527215A ,2025-08-22

[8]

晶圆放置平台和晶圆加工设备 [P].

何正鸿 ;

宋祥祎 ;

邹浩林 ;

陈泽 .

中国专利 :CN221805491U ,2024-10-01

[9]

气浮转台及晶圆检测设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223664726U ,2025-12-12

[10]

用于晶圆的加工方法、晶圆和芯片 [P].

王玲 ;

陈凝 ;

马旭 .

中国专利 :CN117564504A ,2024-02-20

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