晶圆转运机构及晶圆加工设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020890817.1

申请日：

2020-05-25

公开(公告)号：

CN212161773U

公开(公告)日：

2020-12-15

发明(设计)人：

金浩天

申请人：

申请人地址：

200135 上海市浦东新区沈梅路600号4幢1楼

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251

代理人：

郭桂峰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-15	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆传输机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212380401U ,2021-01-19

[2]

晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212161786U ,2020-12-15

[3]

晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN113725143A ,2021-11-30

[4]

晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

葛连朋 ;

杜煦 ;

周裕涵 ;

郭宝昆 ;

张军伟 .

中国专利 :CN221573890U ,2024-08-20

[5]

晶圆对准打光机构及晶圆加工设备 [P].

周鑫 ;

葛凡 ;

孙志超 ;

陈丛余 ;

王永强 .

中国专利 :CN220428880U ,2024-02-02

[6]

晶圆加工设备 [P].

李志卫 .

中国专利 :CN118866817A ,2024-10-29

[7]

晶圆工装夹具及晶圆加工设备 [P].

周旭 ;

胡梅 ;

袁龙翔 .

中国专利 :CN222051737U ,2024-11-22

[8]

晶圆吸附装置及晶圆加工设备 [P].

刘盛 ;

巫礼杰 ;

仰瑞 ;

文洪 ;

陆育梃 ;

王金生 ;

卢庆勇 ;

王安贵 ;

尹建刚 .

中国专利 :CN220341197U ,2024-01-12

[9]

晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212380391U ,2021-01-19

[10]

晶圆翻转装置及方法、晶圆加工设备 [P].

李康康 .

中国专利 :CN119764245A ,2025-04-04

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