晶圆翻转装置及方法、晶圆加工设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411836355.4

申请日：

2024-12-13

公开(公告)号：

CN119764245A

公开(公告)日：

2025-04-04

发明(设计)人：

李康康

申请人：

西安奕斯伟材料科技股份有限公司西安奕斯伟硅片技术有限公司

申请人地址：

710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

郝宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

吉林省辽源市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20241213
2025-04-04	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆转运机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212161773U ,2020-12-15

[2]

晶圆承载装置、晶圆加工设备及晶圆加工设备的控制方法 [P].

万先进 ;

锁志勇 ;

朱松 ;

秦宝宏 ;

任倚萱 ;

魏兴亮 ;

熊泰贻 .

中国专利 :CN120341162A ,2025-07-18

[3]

晶圆刷洗装置、晶圆加工设备及晶圆刷洗控制方法 [P].

徐文超 ;

吴振国 ;

杨超 .

中国专利 :CN114300388A ,2022-04-08

[4]

晶圆吸附装置及晶圆加工设备 [P].

刘盛 ;

巫礼杰 ;

仰瑞 ;

文洪 ;

陆育梃 ;

王金生 ;

卢庆勇 ;

王安贵 ;

尹建刚 .

中国专利 :CN220341197U ,2024-01-12

[5]

晶圆传输装置及晶圆加工设备 [P].

葛连朋 ;

杜煦 ;

周裕涵 ;

郭宝昆 ;

张军伟 .

中国专利 :CN221573890U ,2024-08-20

[6]

晶圆加工设备及晶圆输送方法 [P].

唐辉 .

中国专利 :CN114256126A ,2022-03-29

[7]

晶圆承载装置及晶圆加工设备 [P].

芈健 .

中国专利 :CN216624232U ,2022-05-27

[8]

晶圆翻转装置 [P].

张照康 ;

梁楷模 .

中国专利 :CN221201136U ,2024-06-21

[9]

一种晶圆翻转装置及晶圆翻转设备 [P].

刘涛 ;

彭博 ;

王荣祥 ;

李爽 ;

肖静 ;

宋宣颉 ;

赵琦 .

中国专利 :CN120565477B ,2025-10-10

[10]

一种晶圆翻转装置及晶圆翻转设备 [P].

刘涛 ;

彭博 ;

王荣祥 ;

李爽 ;

肖静 ;

宋宣颉 ;

赵琦 .

中国专利 :CN120565477A ,2025-08-29

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