晶圆刷洗装置、晶圆加工设备及晶圆刷洗控制方法

被引：0

申请号：

CN202111633572.X

申请日：

2021-12-28

公开(公告)号：

CN114300388A

公开(公告)日：

2022-04-08

发明(设计)人：

徐文超吴振国杨超

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B100 B08B1300

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

张岳峰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-08	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆刷洗装置和晶圆刷洗方法 [P].

马钰皓 ;

曹自立 ;

李长坤 ;

郭薇 ;

高庆刚 .

中国专利 :CN120155435A ,2025-06-17

[2]

晶圆刷洗装置 [P].

史霄 ;

陶利权 ;

田洪涛 ;

舒福璋 ;

熊朋 .

中国专利 :CN107497728A ,2017-12-22

[3]

晶圆刷洗装置 [P].

惠二援 ;

宋昌万 ;

孔玉朋 ;

蒋君 ;

陈传磊 .

中国专利 :CN223338014U ,2025-09-16

[4]

晶圆刷洗装置和刷洗方法 [P].

李铁夫 ;

曹自立 ;

马钰皓 ;

陈贺 ;

张泽飞 .

中国专利 :CN120261338A ,2025-07-04

[5]

晶圆水平刷洗装置、晶圆检测机构及晶圆状态检测方法 [P].

曹佳丰 ;

马旭 ;

靳凯强 .

中国专利 :CN119314911A ,2025-01-14

[6]

晶圆承载装置、晶圆加工设备及晶圆加工设备的控制方法 [P].

万先进 ;

锁志勇 ;

朱松 ;

秦宝宏 ;

任倚萱 ;

魏兴亮 ;

熊泰贻 .

中国专利 :CN120341162A ,2025-07-18

[7]

晶圆承载装置及晶圆加工设备 [P].

芈健 .

中国专利 :CN216624232U ,2022-05-27

[8]

用于晶圆的刷洗装置 [P].

路新春 ;

裴召辉 ;

何永勇 .

中国专利 :CN103230884A ,2013-08-07

[9]

用于晶圆的刷洗装置 [P].

路新春 ;

梅赫赓 ;

裴召辉 ;

黄雅婷 ;

何永勇 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN102074455A ,2011-05-25

[10]

用于晶圆的刷洗装置 [P].

何永勇 ;

裴召辉 ;

梅赫赓 ;

路新春 .

中国专利 :CN102522357A ,2012-06-27

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