用于晶圆的刷洗装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010272672.X

申请日：

2010-09-03

公开(公告)号：

CN102074455A

公开(公告)日：

2011-05-25

发明(设计)人：

路新春梅赫赓裴召辉黄雅婷何永勇雒建斌

申请人：

申请人地址：

100084 北京市100084-82信箱

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

B08B104

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

贾玉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-11-14	授权	授权
2011-05-25	公开	公开
2011-07-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101086500037 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:201010272672X 申请日:20100903

共 50 条

[1]

一种用于晶圆的刷洗装置 [P].

路新春 ;

梅赫赓 ;

裴召辉 ;

黄雅婷 ;

何永勇 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN201946573U ,2011-08-24

[2]

用于晶圆的刷洗装置和刷洗方法 [P].

路新春 ;

梅赫赓 ;

裴召辉 ;

何永勇 .

中国专利 :CN103071650B ,2013-05-01

[3]

晶圆刷洗装置 [P].

惠二援 ;

宋昌万 ;

孔玉朋 ;

蒋君 ;

陈传磊 .

中国专利 :CN223338014U ,2025-09-16

[4]

用于晶圆的刷洗装置 [P].

路新春 ;

裴召辉 ;

何永勇 .

中国专利 :CN103230884A ,2013-08-07

[5]

用于晶圆的刷洗装置 [P].

何永勇 ;

裴召辉 ;

梅赫赓 ;

路新春 .

中国专利 :CN102522357A ,2012-06-27

[6]

用于晶圆的刷洗装置 [P].

路新春 ;

裴召辉 ;

梅赫赓 ;

何永勇 .

中国专利 :CN102214554A ,2011-10-12

[7]

晶圆刷洗装置和晶圆刷洗方法 [P].

马钰皓 ;

曹自立 ;

李长坤 ;

郭薇 ;

高庆刚 .

中国专利 :CN120155435A ,2025-06-17

[8]

晶圆刷洗装置 [P].

史霄 ;

陶利权 ;

田洪涛 ;

舒福璋 ;

熊朋 .

中国专利 :CN107497728A ,2017-12-22

[9]

晶圆刷洗装置、晶圆加工设备及晶圆刷洗控制方法 [P].

徐文超 ;

吴振国 ;

杨超 .

中国专利 :CN114300388A ,2022-04-08

[10]

晶圆刷洗装置和刷洗方法 [P].

李铁夫 ;

曹自立 ;

马钰皓 ;

陈贺 ;

张泽飞 .

中国专利 :CN120261338A ,2025-07-04

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