一种用于晶圆的刷洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020518137.3

申请日：

2010-09-03

公开(公告)号：

CN201946573U

公开(公告)日：

2011-08-24

发明(设计)人：

路新春梅赫赓裴召辉黄雅婷何永勇雒建斌

申请人：

申请人地址：

100084 北京市100084-82信箱

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

B08B104

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

贾玉

法律状态：

避免重复授权放弃专利权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-02-27	避免重复授权放弃专利权	避免重复授权放弃专利权号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101525196444 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2010205181373 申请日:20100903 授权公告日:20110824 放弃生效日:20130227
2011-08-24	授权	授权

共 50 条

[1]

用于晶圆的刷洗装置 [P].

路新春 ;

梅赫赓 ;

裴召辉 ;

黄雅婷 ;

何永勇 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN102074455A ,2011-05-25

[2]

晶圆刷洗装置 [P].

惠二援 ;

宋昌万 ;

孔玉朋 ;

蒋君 ;

陈传磊 .

中国专利 :CN223338014U ,2025-09-16

[3]

一种用于晶圆的刷洗装置 [P].

欧阳高剑 ;

田晓强 ;

崔思远 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN221057376U ,2024-05-31

[4]

用于晶圆的刷洗装置和刷洗方法 [P].

路新春 ;

梅赫赓 ;

裴召辉 ;

何永勇 .

中国专利 :CN103071650B ,2013-05-01

[5]

一种用于晶圆加工的刷洗装置 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

夏振 .

中国专利 :CN214625006U ,2021-11-05

[6]

用于晶圆的刷洗装置 [P].

路新春 ;

裴召辉 ;

何永勇 .

中国专利 :CN103230884A ,2013-08-07

[7]

用于晶圆的刷洗装置 [P].

何永勇 ;

裴召辉 ;

梅赫赓 ;

路新春 .

中国专利 :CN102522357A ,2012-06-27

[8]

用于晶圆的刷洗装置 [P].

路新春 ;

裴召辉 ;

梅赫赓 ;

何永勇 .

中国专利 :CN102214554A ,2011-10-12

[9]

晶圆刷洗装置和晶圆刷洗方法 [P].

马钰皓 ;

曹自立 ;

李长坤 ;

郭薇 ;

高庆刚 .

中国专利 :CN120155435A ,2025-06-17

[10]

一种用于晶圆加工的刷洗装置 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

夏振 .

中国专利 :CN112992733B ,2021-06-18

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