一种用于晶圆加工的刷洗装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110171730.8

申请日：

2021-02-08

公开(公告)号：

CN112992733B

公开(公告)日：

2021-06-18

发明(设计)人：

钱诚李刚夏振

申请人：

申请人地址：

225500 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317

代理人：

陈平

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-11	授权	授权
2021-07-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210208
2021-06-18	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于晶圆加工的刷洗装置 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

夏振 .

中国专利 :CN214625006U ,2021-11-05

[2]

一种用于晶圆加工的双面刷洗装置 [P].

杨杰 ;

蒋君 ;

孔玉朋 ;

宋昌万 .

中国专利 :CN117276142B ,2024-02-09

[3]

一种用于晶圆加工的双面刷洗装置 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

朱震 .

中国专利 :CN113926766A ,2022-01-14

[4]

用于晶圆的刷洗装置 [P].

路新春 ;

裴召辉 ;

何永勇 .

中国专利 :CN103230884A ,2013-08-07

[5]

用于晶圆的刷洗装置 [P].

路新春 ;

梅赫赓 ;

裴召辉 ;

黄雅婷 ;

何永勇 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN102074455A ,2011-05-25

[6]

用于晶圆的刷洗装置 [P].

何永勇 ;

裴召辉 ;

梅赫赓 ;

路新春 .

中国专利 :CN102522357A ,2012-06-27

[7]

用于晶圆的刷洗装置 [P].

路新春 ;

裴召辉 ;

梅赫赓 ;

何永勇 .

中国专利 :CN102214554A ,2011-10-12

[8]

晶圆刷洗装置、晶圆加工设备及晶圆刷洗控制方法 [P].

徐文超 ;

吴振国 ;

杨超 .

中国专利 :CN114300388A ,2022-04-08

[9]

一种用于晶圆的刷洗装置 [P].

路新春 ;

梅赫赓 ;

裴召辉 ;

黄雅婷 ;

何永勇 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN201946573U ,2011-08-24

[10]

一种用于晶圆的刷洗装置 [P].

欧阳高剑 ;

田晓强 ;

崔思远 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN221057376U ,2024-05-31

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