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一种用于晶圆加工的双面刷洗装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311515076.3
申请日：
2023-11-15
公开(公告)号：
CN117276142B
公开(公告)日：
2024-02-09
发明(设计)人：
杨杰
蒋君
孔玉朋
宋昌万
申请人：
拓思精工科技（苏州）有限公司
申请人地址：
215299 江苏省苏州市吴江经济技术开发区顺风路两侧
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/687
B08B1/12
B08B1/32
B08B3/02
B08B13/00
代理机构：
苏州睿翼专利代理事务所(普通合伙) 32514
代理人：
王金华
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省
苏州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-01-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20231115 |
| 2024-02-09 | 授权 | 授权 |