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晶圆对准打光机构及晶圆加工设备

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322315053.X
申请日：
2023-08-28
公开(公告)号：
CN220428880U
公开(公告)日：
2024-02-02
发明(设计)人：
周鑫 葛凡 孙志超 陈丛余 王永强
申请人：
江苏京创先进电子科技有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市常熟市经济技术开发区海城路2号9幢
IPC主分类号：
B28D5/00
IPC分类号：
B28D7/00
代理机构：
南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297
代理人：
顾祥安
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省 苏州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-02-02 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆转运机构及晶圆加工设备 [P]. 
金浩天 .
中国专利 :CN212161773U ,2020-12-15
[2]
晶圆传输机构及晶圆加工设备 [P]. 
金浩天 .
中国专利 :CN212380401U ,2021-01-19
[3]
晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备 [P]. 
金浩天 .
中国专利 :CN212161786U ,2020-12-15
[4]
晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备 [P]. 
金浩天 .
中国专利 :CN113725143A ,2021-11-30
[5]
晶圆加工设备 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN221849586U ,2024-10-18
[6]
晶圆工装夹具及晶圆加工设备 [P]. 
周旭 ;
胡梅 ;
袁龙翔 .
中国专利 :CN222051737U ,2024-11-22
[7]
晶圆加工单元和晶圆加工设备 [P]. 
吴兴 ;
徐海洋 ;
夏佳琪 .
中国专利 :CN119458139A ,2025-02-18
[8]
晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板 [P]. 
金浩天 .
中国专利 :CN212380391U ,2021-01-19
[9]
晶圆对准臂及晶圆对准装置 [P]. 
杨轩毅 ;
任瑞 ;
刘普然 .
中国专利 :CN217485421U ,2022-09-23
[10]
晶圆夹取装置及晶圆加工设备 [P]. 
周鑫 ;
胡小波 ;
刘炳先 ;
刘亚杰 ;
刘桂芳 .
中国专利 :CN221994448U ,2024-11-12
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