晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020831832.9

申请日：

2020-05-18

公开(公告)号：

CN212380391U

公开(公告)日：

2021-01-19

发明(设计)人：

金浩天

申请人：

申请人地址：

200135 上海市浦东新区沈梅路600号4幢1楼

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251

代理人：

董磊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-19	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆加工设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221596392U ,2024-08-23

[2]

晶圆加工设备 [P].

柴雪 ;

李晶 ;

野沢俊久 .

中国专利 :CN216902795U ,2022-07-05

[3]

晶圆加工设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221967725U ,2024-11-08

[4]

晶圆加工设备 [P].

殷坤 ;

左瑞 ;

任学亭 ;

崔建波 ;

杨怀维 .

中国专利 :CN223006743U ,2025-06-20

[5]

晶圆加工设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221849586U ,2024-10-18

[6]

晶圆加工设备 [P].

许振杰 ;

王剑 ;

王国栋 ;

陈映松 ;

王同庆 ;

赵德文 ;

沈攀 ;

郭振宇 ;

李昆 ;

路新春 ;

裴召辉 ;

贾弘源 ;

郑家旺 ;

庞伶伶 ;

刘卫国 ;

王春龙 ;

韩宏飞 ;

甄辉 ;

时亚秋 .

中国专利 :CN208368479U ,2019-01-11

[7]

晶圆加工设备 [P].

李慧 ;

姜宗帅 ;

野沢俊久 ;

张孝勇 ;

周坚 ;

田晓明 ;

李丹 .

中国专利 :CN216902858U ,2022-07-05

[8]

晶圆加工设备 [P].

陈新益 ;

谈太德 ;

张亚新 ;

王燚 ;

周伟杰 ;

蔡新晨 ;

李培培 .

中国专利 :CN216902815U ,2022-07-05

[9]

晶圆加工设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221583211U ,2024-08-23

[10]

晶圆加工设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN210378981U ,2020-04-21

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