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一种晶圆翻转机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323343346.5
申请日：
2023-12-08
公开(公告)号：
CN221841822U
公开(公告)日：
2024-10-15
发明(设计)人：
张雄
谢根源
何豪文
辛嘉伟
申请人：
新启航半导体有限公司
申请人地址：
528000 广东省佛山市高明区荷城街道海田路88号23栋102室（住所申报）
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/68
代理机构：
北京汇众通达知识产权代理事务所(普通合伙) 11622
代理人：
初琦
法律状态：
授权
国省代码：
广东省
佛山市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-10-15 | 授权 | 授权 |