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一种晶圆翻转机构

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510568508.X
申请日：
2025-04-30
公开(公告)号：
CN120432430A
公开(公告)日：
2025-08-05
发明(设计)人：
梁申武 高智伟 母凤文 郭超 谭向虎 刘福超
申请人：
天津中科晶禾电子科技有限责任公司
申请人地址：
300451 天津市滨海新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园22-A号厂房二层C角
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/677
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
李晓萌
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省 常州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-08-05 公开 公开
2025-08-22 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20250430
共 50 条
[1]
一种晶圆翻转机构 [P]. 
张雄 ;
谢根源 ;
何豪文 ;
辛嘉伟 .
中国专利 :CN221841822U ,2024-10-15
[2]
晶圆翻转机构和晶圆清洗设备 [P]. 
程壮壮 ;
许璐 ;
张朝轩 ;
阳秋娥 .
中国专利 :CN112133671B ,2024-04-12
[3]
一种晶圆翻转机构 [P]. 
赵天翔 ;
蔡超 ;
刘国强 .
中国专利 :CN114999995A ,2022-09-02
[4]
一种晶圆翻转机构 [P]. 
贺小华 ;
龙慧梅 .
中国专利 :CN117316861B ,2025-09-05
[5]
一种晶圆翻转机构 [P]. 
贺小华 ;
龙慧梅 .
中国专利 :CN117316861B8 ,2025-09-23
[6]
晶圆翻转机构和晶圆清洗设备 [P]. 
程壮壮 ;
许璐 ;
张朝轩 ;
阳秋娥 .
中国专利 :CN112133671A ,2020-12-25
[7]
一种晶圆翻转机构和晶圆前端传输设备 [P]. 
薛增辉 ;
孟亚东 ;
张胜森 ;
王文广 ;
冯启异 ;
叶莹 .
中国专利 :CN117438369A ,2024-01-23
[8]
一种晶圆翻转机构和晶圆前端传输设备 [P]. 
薛增辉 ;
孟亚东 ;
张胜森 ;
王文广 ;
冯启异 ;
叶莹 .
中国专利 :CN117438369B ,2024-03-26
[9]
一种晶圆传输翻转机构 [P]. 
黄运军 .
中国专利 :CN223390521U ,2025-09-26
[10]
一种晶圆镜片翻转机构 [P]. 
郝立征 ;
劳委炎 .
中国专利 :CN223101915U ,2025-07-15
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