研磨抛光装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520863135.0

申请日：

2015-10-30

公开(公告)号：

CN205129602U

公开(公告)日：

2016-04-06

发明(设计)人：

孔晶王永宁吴新陈麟

申请人：

申请人地址：

519015 广东省珠海市高新区科技六路68号

IPC主分类号：

B24B3700

IPC分类号：

B24B3711 B24B3727 B24B3734

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

郑小粤;李双皓

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-06	授权	授权
2019-10-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 37/00 申请日:20151030 授权公告日:20160406 终止日期:20181030

共 50 条

[1]

研磨抛光装置 [P].

孔晶 ;

王永宁 ;

吴新 ;

陈麟 .

中国专利 :CN105234804B ,2016-01-13

[2]

研磨抛光夹具及研磨抛光装置 [P].

龙登武 ;

俞江 .

中国专利 :CN204546250U ,2015-08-12

[3]

研磨抛光装置 [P].

谢涛 ;

罗友明 ;

吴小春 .

中国专利 :CN207239867U ,2018-04-17

[4]

研磨抛光装置 [P].

刘政文 .

中国专利 :CN205904834U ,2017-01-25

[5]

研磨抛光头 [P].

徐柏龄 .

中国专利 :CN201009158Y ,2008-01-23

[6]

晶片研磨抛光装置 [P].

唐坤 ;

陈鑫 ;

高艳庄 .

中国专利 :CN208913851U ,2019-05-31

[7]

研磨抛光装置及其研磨抛光方法 [P].

吕育廷 ;

杨忠义 ;

陈再发 ;

许富铨 ;

庄殷 .

中国专利 :CN102485423A ,2012-06-06

[8]

研磨抛光装置和研磨抛光方法 [P].

毛柠 .

中国专利 :CN117943953A ,2024-04-30

[9]

蓝宝石研磨抛光装置 [P].

袁保军 ;

贺贤汉 ;

王宇 .

中国专利 :CN205310029U ,2016-06-15

[10]

研磨抛光头支撑装置 [P].

唐丹 ;

方建东 ;

杨宁 ;

孙晓晓 .

中国专利 :CN203600043U ,2014-05-21

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