基于数字微镜器件无掩膜光刻的旋转式曝光系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711041925.0

申请日：

2017-10-30

公开(公告)号：

CN107908077A

公开(公告)日：

2018-04-13

发明(设计)人：

李木军季超朱俊杰邱金峰

申请人：

申请人地址：

230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京凯特来知识产权代理有限公司 11260

代理人：

郑立明;付久春

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20171030
2020-12-18	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20180413
2018-04-13	公开	公开

共 50 条

[1]

无掩膜光刻系统的直帧式数据处理方法及曝光系统 [P].

俞庆平 ;

俞逸骐 .

中国专利 :CN118584766A ,2024-09-03

[2]

用于无掩膜光刻投影曝光系统的偏振合光装置 [P].

张昌清 ;

李文静 ;

何少峰 ;

刘文海 .

中国专利 :CN202486436U ,2012-10-10

[3]

掩膜版及掩膜曝光系统、拼接曝光方法、基板 [P].

胡明 ;

张明 ;

刘国冬 ;

许邹明 .

中国专利 :CN106200254A ,2016-12-07

[4]

光刻的曝光方法及曝光系统 [P].

张飞 .

中国专利 :CN101359181A ,2009-02-04

[5]

用于无掩膜光刻机的曝光镜头及无掩膜光刻机 [P].

桂立 ;

陆永杰 .

中国专利 :CN217238599U ,2022-08-19

[6]

基于空间光调制器的无掩膜图形曝光系统 [P].

丁海生 ;

李东昇 ;

马新刚 ;

江忠永 ;

张昊翔 ;

李超 .

中国专利 :CN102778820A ,2012-11-14

[7]

基于数字微镜器件的无串扰并行OCT成像方法及系统 [P].

丁志华 ;

杨亚良 ;

刘旭 .

中国专利 :CN100403087C ,2007-03-07

[8]

一种基于数字微镜器件的匀光系统 [P].

余卿 ;

崔长彩 ;

付胜杰 ;

缪晶晶 .

中国专利 :CN203838406U ,2014-09-17

[9]

一种基于数字微镜器件的匀光系统 [P].

余卿 ;

崔长彩 ;

付胜杰 ;

缪晶晶 .

中国专利 :CN103984090A ,2014-08-13

[10]

基于数字微镜阵列的步进式无掩模数字曝光装置 [P].

严伟 ;

唐小萍 ;

胡松 ;

邢薇 ;

赵立新 ;

杨勇 ;

杨文波 ;

杨波 ;

周绍林 ;

陈旺富 .

中国专利 :CN101320222A ,2008-12-10

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