基于PECVD的增强型石墨烯薄膜镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720967041.7

申请日：

2017-08-03

公开(公告)号：

CN207072970U

公开(公告)日：

2018-03-06

发明(设计)人：

朱建明

申请人：

申请人地址：

526060 广东省肇庆市端州大道

IPC主分类号：

C23C1626

IPC分类号：

C23C16455 C23C16509 C23C1654

代理机构：

广州市华学知识产权代理有限公司 44245

代理人：

谢静娜

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/26 申请日:20170803 授权公告日:20180306 终止日期:20200803
2018-03-06	授权	授权

共 50 条

[1]

基于PECVD的增强型石墨烯薄膜镀膜设备及方法 [P].

朱建明 .

中国专利 :CN107217241A ,2017-09-29

[2]

基于PECVD的石墨烯薄膜镀膜设备 [P].

朱建明 ;

李金清 .

中国专利 :CN205856606U ,2017-01-04

[3]

基于PECVD的石墨烯薄膜镀膜设备及方法 [P].

朱建明 ;

李金清 .

中国专利 :CN106011798B ,2016-10-12

[4]

一种石墨烯超材料薄膜的镀膜设备 [P].

陈甦 ;

姚涛 .

中国专利 :CN217368989U ,2022-09-06

[5]

石墨烯薄膜的制备设备 [P].

颜士斌 ;

马远 ;

维塔利·塔塔琴科 ;

宗志远 ;

牛沈军 .

中国专利 :CN203639159U ,2014-06-11

[6]

增强型磁控溅射卷绕镀膜设备 [P].

朱文廓 ;

朱刚劲 ;

朱刚毅 .

中国专利 :CN205710902U ,2016-11-23

[7]

浮力增强型石墨烯电热保温救生服 [P].

钮静江 ;

卢旭东 .

中国专利 :CN215098177U ,2021-12-10

[8]

石墨烯弹性网布增强型碳纤维鱼竿 [P].

陈川莲 ;

王晴 ;

朱世喜 .

中国专利 :CN207589906U ,2018-07-10

[9]

一种基于石墨烯薄膜的压力探测设备 [P].

汪际军 .

中国专利 :CN206920049U ,2018-01-23

[10]

石墨烯薄膜的制备方法及设备 [P].

颜士斌 ;

马远 ;

维塔利·塔塔琴科 ;

宗志远 ;

牛沈军 .

中国专利 :CN103708444A ,2014-04-09

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